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電子プローブマイクロアナライザー・EPMA

(日本電子 JXA-8900L)

電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)は、試料に電子線を照射して含有元素の定性・定量分析を行う装置であり、ナノマテリアルテクノロジーセンターで集中管理されています。

【特徴】

EPMAは収束させた電子線を試料表面に照射して、試料から放出されるX線の波長あるいはエネルギーの違いにより、試料中の元素組成を分析する装置である。元素組成が既知試料のX線強度と未知試料とX線強度との比較により元素の定量分析が行える。また試料表面上において電子線を走査することにより、試料表面の元素2次元分布が測定可能である。

電子プローブマイクロアナライザー(EPMA)

【仕様】

電子線源 タングステン・フィラメント
加速電圧 5 - 40kV(常用 7 - 20kV)
二次電子像分解能 6nm (AccV=35kV, WD=11mm)
倍率 40 - 300,000倍(SE像・BE像の実用倍率10,000倍程度)
測定可能元素 B~U
波長分散型分光器 5チャンネル
分光器の分光結晶構成と
特性X線構成
Ch1 - TAP - K線:O-P, L線:Cr-Nb, M線:La-Hg,
LDE2 - K線:B-O, L線:Ca-Cr,
Ch2 - PETJ - K線:Si-Fe, L線:Rb-Tb, M線:Lu-U,
LIF - K線:Ca-Rb, L線:Sn-Np,
Ch3 - LIFH - K線:Ca-Ge, L線:Te-Hg,
PETH - K線:Si-Ti, L線:Pb-La, M線:Ta-U,
Ch4 - LDE1H - K線:C-O, L線:Ca-Mn,
LDE2H - K線:B-N, L線:Ca
Ch5 - TAP - K線:O-P, L線:Cr-Nb, M線:La-Hg,
NSTE - K線:B-O, L線:Ca-Cr,

【設置場所】

ナノマテリアルテクノロジーセンター2階

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