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研究設備紹介

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ラザフォード後方散乱分析装置

(日新ハイボルテージ(株)社製、NT-1700H型)

【特徴】

本装置によって、試料元素の「種類、数、及びそれらの深さ分布情報」が分かります。密度がわかる薄膜の場合は、これを元にして膜厚が分かり、逆に膜厚が分 かるとその膜の密度が分かります。また、結晶試料では、その結晶軸と平行にビームを入射した場合に後方散乱粒子数が減少する、チャネリング現象を利用することで、結晶性の良し悪しも分かります。この分析機能を発揮できるようにイオンビームの入射角度を0.1度以下の単位で変えることができます。測定原理 から、Fe,Wなどの重元素の絶対量測定が得意です。C(炭素)より軽い元素の定量測定は難しくなりますが、軽元素でも、例えば、SiO2やSi3N4のO/SiやN/Siの組成比は、誤差10%程度での測定が可能です。

ラザフォード後方散乱分析装置(日新ハイボルテージ(株)社製、NT-1700H型)
ラザフォード後方散乱分析装置(日新ハイボルテージ(株)社製、NT-1700H型)

【仕様】

加速方式 タンデム方式
加速イオン 主にHe+, He++
加速エネルギー 0.2 - 3.4MeV(He+)
- 5.1MeV(He++)
高電圧発生方式 シェンケル回路方式
イオン源 リチウム荷電変換型負イオン源(
デュオプラズマトロン・イオン源+リチウム荷電変換セル)
ビーム径(測定プローブ径):約 1 mmφ
エネルギー分解能: ca. 24 keV
深さ分解能 ca. 10 nm(エネルギー分解能に従う)
入射深さ ca. ~ 1 μm
原子数分解能:0.01 - 1 at%(原子量が大きい程、分解能は高い)

【設置場所】

マテリアルサイエンス系1棟1階

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