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研究設備紹介

主要設備一覧

透過型電子顕微鏡・TEM

(日立 H-7100H-7650H-9000NAR

H-7100、H-7650

透過電子顕微鏡は、波長が約0.002 nm - 0.004 nmの電子線を用いて、材料の微細な構造の観察や分析を行うために用いられる装置です。JAISTの透過電子顕微鏡は、これからの材料の研究開発において、無くてはならない基盤的教育研究設備として位置づけられ、ナノマテリアルテクノロジーセンターで集中管理されています。観察対象となる材料や観察・分析の目的などに応じて、各種の透過電子顕微鏡が設置されており、多くの研究室が利用しています。

透過電子顕微鏡・TEM

【特徴】

加速電圧100kVクラスの透過電子顕微鏡で、有機高分子材料、有機ー無機複合材料等の観察に用いられます。搭載されているデジタルCCDカメラによって、高いコントラストで観察することができ、すぐに電子データとして像を得ることができます。H-7650は、パソコン上で制御することができ、操作性が向上しています。また、エネルギー分散型X線分光装置が装備されており、X線マッピングによって元素分析を行うことができます。さらに、電子線トモグラフィーによって、試料の立体構造解析を行うことも可能です。

【仕様】

加速電圧 120 kV
電子銃 Wフィラメント
分解能(H-7650):0.2nm(格子像)、0.36nm(粒子像)
分解能(H-7100):0.204nm(格子像)、0.45nm(粒子像)
倍率(H-7650) 200 - 600,000倍(Zoomモード)
50 - 1,000倍(Low magモード)
倍率(H-7100) 1,000 - 600,000倍(Zoomモード)
50 - 1,000倍(Low magモード)
5,000 - 300,000倍(SAモード)
試料傾斜 ±60°

【設置場所】

ナノマテリアルテクノロジーセンター2階


H-9000NAR

半導体から各種材料に至るまで微細化技術が進歩している現在、サブナノスケールの高分解能観察が不可欠となっています。H-9000NARは、これらのニーズに応えるための高分解能観察が可能です。

【特徴】

半導体から各種材料に至るまで微細化技術が進歩している現在、サブナノスケールの高分解能観察が不可欠となっています。H-9000NARは、これらのニーズに応えるための高分解能観察が可能です。

高分解能透過型電子顕微鏡・HR-TEM(日立 H-9000NAR)

【仕様】

加速電圧 300 kV
電子銃 LaB6エミッター(直流加熱)
分解能 0.18 nm
倍率 1,000 - 1,500,000倍(Zoomモード)
200 - 500倍(Low magモード)
4,000 - 500,000倍(SAモード)
試料傾斜 ±15°
最小プローブ径:0.8 nm
電子回折カメラ長:250-3,000 mm

【設置場所】

ナノマテリアルテクノロジーセンター1階

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