ラザフォード後方散乱分析装置
（日新ハイボルテージ（株）社製、NT-1700H型）
【特徴】
本装置によって、試料元素の「種類、数、及びそれらの深さ分布情報」が分かります。密度がわかる薄膜の場合は、これを元にして膜厚が分かり、逆に膜厚が分 かるとその膜の密度が分かります。また、結晶試料では、その結晶軸と平行にビームを入射した場合に後方散乱粒子数が減少する、チャネリング現象を利用することで、結晶性の良し悪しも分かります。この分析機能を発揮できるようにイオンビームの入射角度を0.1度以下の単位で変えることができます。測定原理 から、Fe,Wなどの重元素の絶対量測定が得意です。C（炭素）より軽い元素の定量測定は難しくなりますが、軽元素でも、例えば、SiO2やSi3N4のO/SiやN/Siの組成比は、誤差10%程度での測定が可能です。
【仕様】
| 加速方式 | タンデム方式 |
|---|---|
| 加速イオン | 主にHe+, He++ |
| 加速エネルギー | 0.2 - 3.4MeV（He+） - 5.1MeV（He++） |
| 高電圧発生方式 | シェンケル回路方式 |
| イオン源 | リチウム荷電変換型負イオン源（ デュオプラズマトロン・イオン源＋リチウム荷電変換セル） ビーム径（測定プローブ径）：約 1 mmφ エネルギー分解能： ca. 24 keV |
| 深さ分解能 | ca. 10 nm（エネルギー分解能に従う） |
| 入射深さ | ca. ~ 1 μm 原子数分解能：0.01 - 1 at%（原子量が大きい程、分解能は高い） |
【設置場所】
マテリアルサイエンス系１棟１階