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水谷研究室の装置のメンテナンス

(更新:ポンプ関係200143日、レーザー関係1998311日)

 

装置名

メンテ個所

メンテの頻度

前回の

メンテ時期

次回の

メンテ時期

クライオスタット

冷却器本体のディスプレーサーのシーリング部品の交換

1万時間毎

(作業はサービスマンが来て行う。

費用は、20-25万円かかる)

納品時

(1994.2月ころ)

暫く先になりそう

2001.3.6現在で約2775時間)

圧縮機ユニットの

アドソーバーの交換

3万時間毎

納品時

(1994.2月ころ)

果てしなく先

畜冷剤

特にメンテの必要なし

――

――

クライオ排気系ターボ

(大阪真空 TH250M

バッテリー交換

2年毎

(半年に1度は充電のため電源ONにする必要がある。)

1998310

20003

(早めに交換した方がよい)

クライオ排気系RP

(アルカテル2010

オイル交換

到達圧力の上昇やオイルの色が黒くなったら交換(目安:6ヶ月〜1年)

2001321

20023月頃

横長チャンバーターボ

(バルザスTPU520M

emergency ベアリング

の交換

3回ブレーク(振動などによりポンプが停止)したら交換

ブレーク回数は

少なくとも1回

出来ればすぐ交換した方がよい(様子見中)

(バッテリー)

バッテリーなしのタイプなので

交換の必要なし

――

――

横長チャンバーRP

(アルカテル2021

オイル交換

到達圧力の上昇やオイルの色が黒くなったら交換(目安:6ヶ月〜1年)

20008

現在修理中

修理待ち

横長チャンバードーズ系RP

(ULVAC G-20D)

オイル交換

3000時間毎

(新油を入れてから3ヶ月後)

2001.3.23

2002.3

金属蒸着チャンバーターボ

(ファイファーTMU260C)

ベアリング交換

 

2年(〜15000時間)毎

 

 

2001.4.1

20034月頃

オイル交換

1年に1回以上

(使用状況による)

2001.4.2

2002年3月頃

金属蒸着チャンバーRP

(アルカテル2005

オイル交換

到達圧力の上昇やオイルの色が黒くなったら交換(目安:6ヶ月〜1年)

2001.3.21

2002.3

TiO2&Geチャンバーターボ

(ライボルトturbovac361

特にメンテナンスは必要ないと言っている。→

オイルは使ってないのでオイル交換はない。

しかし、1年半を目安にオーバーホールした方がよいらしい。音や振動が大きくなったら要注意。

20011月に故障し、ベアリング交換した。

2002年7月頃

TiO2&Geチャンバーターボ

(バルザスTMU065

ベアリング交換

2年毎(〜15000時間)

200012

200212月以降

オイル交換

1年毎

200012

20023

TiO2&GeチャンバーRP

(アルカテル2005

オイル交換

到達圧力の上昇やオイルの色が黒くなったら交換(目安:6ヶ月〜1年)

2001年1月

20023

ラマンチャンバー

メインターボ

(ファイファーTMU260PC)

ベアリング交換

2年毎(〜15000時間)

納品時

(19989月頃?)

2001年7月以降

(2001.3.612139時間)

オイル交換

1年毎

納品時

(19989月頃?)

今すぐ

ラマンチャンバー

サブターボ

(ファイファーTMU071P)

ベアリング交換

2年毎(〜15000時間)

納品時

(2000年3月頃)

暫く先

(2001.3.63605時間)

オイル交換

1年毎

納品時

(2000年3月頃)

今すぐ

ラマンチャンバー

ガスラインのターボ

(ファイファーTMU065)

ベアリング交換

2年毎(〜15000時間)

2001年3月故障し

ベアリングとロータステータを交換

20033月以降

オイル交換

1年毎

2001年3月

2002年3月

ラマンチャンバー

メインRP

(アルカテル2021C)

オイル交換

到達圧力の上昇やオイルの色が黒くなったら交換(目安:6ヶ月〜1年)

2001.3.22

2001.3

ラマンチャンバー

サブRP

(ファイファーDUO005

オイル交換

オイルは純正品が推奨。でも他社製でも多分OK

2001.3.22

2002.3

SH顕微鏡チャンバーターボ

(ライボルトturbovac151)

特にメンテナンスは必要ないと言っている。→

オイルは使ってないのでオイル交換はない。

しかし、1年半を目安にオーバーホールした方がよいらしい。音や振動が大きくなったら要注意。

20013月修理し、

ベアリング交換する予定

20029月頃

SH顕微鏡チャンバーRP

(アルカテル2005 SD)

オイル交換

1年毎

2001.3.23

2002.3

 

 

 

 

 

真空デシケーターRP

ULVAC G-20D

オイル交換

3000時間毎

(新油を入れてから3ヶ月後)

2001.4.3

2002.3

GCR150

冷却水交換

3ヶ月毎

1997.11.14

1998.2.14

冷却水の循環

レーザーを使用しないときも毎週1回30分間冷却水を循環させる。

――

――

水フィルター交換

deionizing filterは色がyellowlight brown

変ったら交換。

またはsimmerがつきにくくなったら交換

particle filterdeionizing filterを交換する時に一緒に交換する。

納品時

1994.9.30

 

空気フィルター交換

特に時期が明記されていない。

納品時

1994.9.30

 

フラッシュランプ交換

1000時間毎

1995.11.13

 

GCR250

冷却水交換

3ヶ月毎

1997.11.11

1998.2.11

冷却水の循環

レーザーを使用しないときも毎週1回30分間冷却水を循環させる。

――

――

水フィルター交換

deionizing filterは色がyellowlight brown

変ったら交換。

particle filterdeionizing filterを交換する時に一緒に交換する。

納品時

1995.6.9

 

空気フィルター交換

特に時期が明記されていない。

納品時

1995.6.9

 

フラッシュランプ交換

YAG単体としては1000時間毎

OPOの励起用としては1000万ショット

(約300時間)毎

1998.2.25

(既に400時間使用したランプと交換)

 

ピコ秒レーザーPY61

冷却水交換

3ヶ月毎が目安

1997.10.14

1998.1月中旬

水フィルター

6ヶ月毎が目安

1996.11.19

1997.5月中旬

色素

2週間毎

――

――

色素フィルター

6ヶ月毎が目安

1997.3.21

1997.9月下旬

フラッシュランプ

3000万ショット

1997.7.19

32087790