研究設備

研究室の研究装置

素子作製関連

真空蒸着装置
零号機
真空蒸着装置
一号機
(ALSテクノロジー
株式会社
)
真空蒸着装置
二号機
超高真空蒸着装置
(北野精機)
グローブボックス
(MBraun)
スピンコーター UVオゾン処理装置 クリーンブース
(クラス100)
グローブボックス
(KIYON)
真空蒸着装置
(ALS)

・高分子CVD装置 

・昇華精製装置

・超純水製造装置

・素子封止装置

 

素子評価関連

半導体パラメータ
アナライザー
Keithley 4200SCS/FA
ELスペクトル
測定装置
FT-IR
(Termo)
有機EL素子寿命
評価装置
太陽光
シミュレーター
He-Cdレーザー
(金門電気)
表面・界面分光
測定装置
システムインスツルメンツ
太陽電池投射光子
変換効率評価
システム
LCRメーター
4284A
Agilent Technology
偏光顕微鏡

EL素子評価システム
(EL素子量子効率、蛍光量子収率評価用)

 

材料合成関連

カラム
クロマトグラフィー

溶媒対応
グローブボックス

ドラフト

共通利用装置 

・キャリヤ移動度測定装置(Time-of-Flight法)
・共焦点顕微ラマン分光装置
・紫外可視分光光度計(JASCO)
・蛍光燐光分光光度計(JASCO)
・フーリエ変換赤外分光光度計(Thermo Nicolet AVATOR 360)
・蛍光寿命測定装置(Joban Yvon)
・紫外光マスクアライナー(Karl Suss MJB3 UV400)
・XPS(ULVAC Phi)
・XRD
・ESR(JASCO)
・AFM(SII製)
・触針法膜厚計(DEKTAK 3030)
・接触角測定装置
・大気中光電子分光装置AC-2(理研計器)
・電子ビーム露光リソグラフィー装置
・NMR
・SEM
・TEM
・ゼータ電位計