研究設備
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UVオゾン洗浄機
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UVオゾン洗浄機
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UVオゾン処理機
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動的粘度測定装置
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接触角計
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光学顕微鏡
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グローブボックス
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半導体パラメータアナライザ
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真空蒸着機
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インクジェット装置
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UVナノインプリント装置(ST300N)
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熱ナノインプリント装置(ST-50)
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電気炉
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3源スパッタ装置
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急速加熱炉(RTA)
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酸素アッシング装置
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スピンコーター
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グリーンレーザー装置
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水素ラジカル処理装置
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TGDTA
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原子間力顕微鏡(AFM)
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薄膜硬度計(ナノインデンター)
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多角度静的光散乱計システム(MALLLS)
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サイズ排除クロマトグラフィ(SEC)
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偏光顕微鏡
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ガスクロマトグラフ
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エバポレーター
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熱ナノインプリント搭載グローブボックス
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卓上走査型電子顕微鏡(SEM)
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高温電気炉
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光学式薄膜測定システム(FilmTek3000)
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エリプソメトリー
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低温プローバー
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表面張力計
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多波長アッベ屈折率計