9/10 研究科セミナー (信州大学: 太子 敏則 氏)

 

マテリアルサイエンス研究科4棟8階 中セミナー室 14:00-18:00

「SiC溶液成長 ~シリコン・酸化物単結晶成長の知見をもとに~」

信州大学 環境・エネルギー材料科学研究所 准教授 太子 敏則 氏

講演要旨
 現在、パワーデバイスにはシリコンが用いられているが、低電力ロス、高温動作などの観点から、炭化ケイ素(SiC)が注目されている。しかしながら、SiC単結晶の育成はシリコンと比して、融液からの成長が不可、高温成長が必須、結晶多形の制御などの点で非常に難しい。本講演では、まず筆者が行ってきた引き上げ法シリコン単結晶育成に関する研究、垂直ブリッジマン法による機能性酸化物単結晶育成に関する研究を紹介する。そして、それを基にして現在行っているSiC溶液成長に関する研究について述べる。SiCの溶液成長はカーボンるつぼにシリコンをベースとする融液を保持し、るつぼから炭素を溶解しながら行われるが、この時の炭素の溶解・輸送・SiCとしての成長のバランスが重要である。

講演者略歴
平成8年3月  長岡技術科学大学生物機能工学課程 卒業
平成8年4月  長岡技術科学大学大学院工学研究科修士課程
       生物機能工学専攻入学
平成10年3月  同上 修了
平成10年4月  信州大学大学院工学系研究科博士後期課程
       材料工学専攻入学
平成13年3月  同上 修了
平成13年4月  日本学術振興会特別研究員(PD)
平成16年4月  信州大学教育学部産学官連携研究員
平成18年11月 東北大学金属材料研究所 助手(平成19年4月から助教)
平成21年12月 信州大学カーボン科学研究所 助教
平成23年11月 信州大学工学部 准教授
平成25年4月  信州大学環境・エネルギー材料科学研究所 准教授

担当教員 グリーンデバイス研究センター 特任教授 井上 聡(内線:8601)


2015セミナー第9回.pdf

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