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プロジェクト詳細

省スペース2軸ピエゾステージの開発

タイトル 申請者 期間
省スペース2軸ピエゾステージの開発 富取正彦教授 平成21年4月7日~平成21年7月31日
詳細
原子間力顕微鏡での使用を目的とし、位置精度が高くコンパクトでリモート制御可能な、ガス放出の少ない2軸ステージを開発する。ピエゾ駆動のための電源及びドライバーシステムを開発し、マイコン組込み技術を含む総合的なエレクトロニクス機器の開発技術を高める。
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