ナノマテリアルテクノロジーセンター

HOME概要教育コーススタッフ分析装置施設・設備研究室紹介お知らせシンポジウムリンク|

クリーンルーム

本学のクリーンルームは6つの部屋から構成されており、各部屋は次の条件を満たすように制御されています。

クリーンルーム

Cleanroom

各部屋の制御条件

0.3μクラス 温度条件(℃) 湿度条件(%) 対外気差圧(mmHg)
CR1〜4 1000 23±1 45±5 2.0
CR5 100 23±1 45±5 3.0
CR6 10 23±0.5 45±5 3.5
Copyright (C) Center for Nano Materials and Technology, Japan Advanced Institute of Science and Technology. All Rights Reserved. tpl by pondt