ヘリウム液化室

Helium Liquefaction Room


ヘリウム・リサイクル・システムの流れ


   液化 ──────→ 供給
   ↑           ↓
   └─── 回収 ────┘

液体ヘリウム貯槽

液体ヘリウムを貯蔵
   ↓

トランスファーチューブ

タンクからベッセルへ移送
   ↓

ベッセル

ベッセルで各研究室へ運搬
   ↓

ベッセルから各研究装置へ移送

→ 各研究装置等から液体ヘリウムが蒸発
   ↓

回収ガス積算流量計

研究室での蒸発ガス量をメーターで測定

   ←   

ヘリウムメーター群監視

各研究室の蒸発ガス回収状況をインターネット上で常時監視
   ↓

回収配管

蒸発ガスは地下ピットの配管を通って液化室へ
   ↓

回収ガス積算流量計

液化室への回収ガス量を測定
   ↓

ヘリウムガス純度測定器

回収ガスの純度を測定
   ↓

ガスバック

回収ガスを一旦バックに溜める
   ↓

回収用圧縮機

バックから長尺へ移送
   ↓

ヘリウムガス精製装置

途中、空気等を除去
   ↓

高圧不純ガス乾燥機

途中、水分を除去
   ↓   →  純度99.9%以上へ

長尺

ヘリウムガスを貯蔵

   ←   

純ヘリウムボンベカードル

システム内からリークしたヘリウム分をここから時折補充
   ↓

液化用圧縮機

長尺から液化機へ移送
   ↓

ヘリウム液化機

ヘリウムガスを液化

   ←   

CE

ヘリウムガスを液体窒素で予冷
   ↓

デリバリーチューブ

液化機からタンクへ移送
   ↓

液体ヘリウム貯槽

液体ヘリウムを貯蔵
   ↓
 <繰り返し>