![北陸先端科学技術大学院大学 [JAIST] - 研究者総覧](images/info_01.gif)
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大平 圭介 （オオダイラ ケイスケ） 准教授
グリーンデバイス研究センター
■学位
東京大学修士(工学)(2000),東京大学博士(工学)(2004)
■職歴
東北大学金属材料研究所COEフェロー(2004-2005),東北大学金属材料研究所産学官連携研究員(2005), 北陸先端科学技術大学院大学マテリアルサイエンス研究科助教(2005-2011), 独立行政法人 科学技術振興機構 さきがけ研究 兼任研究者 (2009-),
■専門分野
太陽電池、半導体工学
■研究テーマのキーワード
太陽電池 多結晶シリコン薄膜 触媒化学気相堆積
■研究課題
フラッシュランプ熱処理による高品質多結晶シリコン薄膜の形成とその太陽電池応用
触媒化学気相堆積(Cat-CVD)法でガラス基板上に形成したa-Siに対し、ミリ秒の熱処理であるフラッシュランプアニールを施すことにより、太陽電池用高品質多結晶シリコン薄膜を形成し、それを用いた太陽電池の作製の検討を行っている。
加熱した触媒体線で原料ガスを分解して薄膜を堆積するCat-CVD法により、結晶シリコン表面でのキャリア再結合を有効に低減できるパッシベーション膜を形成できる。この高品質パッシベーション膜の開発と、結晶シリコン太陽電池への応用について検討を行う。
液体シリコンプロセスの太陽電池応用
真空プロセスを使用せずに非晶質シリコンなどを形成できる液体シリコンプロセスは、太陽電池の製造コストを大幅に低減できるポテンシャルを有している。薄膜シリコン太陽電池などへの応用を目標に、研究を進めている。
高性能ガスバリア膜の開発
太陽電池モジュールに使用されるバックシートの水蒸気バリア性能は、モジュールの寿命を決める重要な要素である。当研究室では、主にCat-CVD技術を応用した、高性能ガスバリア膜の開発に取り組んでいる。
■研究業績
◇著書
- Crystal Growth of Si for Solar Cells, Chapter 11, "Thin Film Poly-Si Formed by Flash Lamp Annealing"，Keisuke Ohdaira，Springer，2009，pp. 177-191
- 薄膜シリコン系太陽電池の最新技術（太和田義久、岡本博明・監修、シーエムシー出版）「Cat-CVD法(Hot Wire CVD法）を用いた薄膜シリコン系太陽電池の開発」，松村英樹、大平圭介，2009年7月24日初版，56-67
- 触媒CVD(Cat-CVD)の新展開 -ラジカルを用いる新プロセス技術- 第3章 応用編 6.フラットパネルディスプレー用TFT，大平圭介，シーエムシー出版，2008，160-167
◇発表論文
- Liquid-phase explosive crystallization of electron-beam-evaporated a-Si films induced by flash lamp annealing，Keisuke Ohdaira and Hideki Matsumura，J. Cryst. Growth，362，149，2013
- Defect Termination of Flash-Lamp-Crystallized Large-Grain Polycrystalline Silicon Films by High-Pressure Water Vapor Annealing，Keisuke Ohdaira，Jpn. J. Appl. Phys，52，04CR11，2013
- Formation of Polycrystalline Silicon Films for Solar Cells by Flash Lamp Annealing，Keisuke Ohdaira，J. Vac. Soc. Jpn. (in press)
◇講演発表
- フラッシュランプアニールによるa-Ge膜の結晶化，大平圭介、松村英樹，第60回応用物理学会春季学術講演会（神奈川工科大），2013年3月27-30日
- 太陽電池の発電原理、その構造と分類，大平圭介，JAIST講演会「太陽電池技術の基礎、研究開発の現状と将来展望」，東京工業大学，2013年1月30日
- Cat-CVD a-Si膜の応力制御とフラッシュランプアニールでの結晶化機構への影響，大平 圭介，第9回Cat-CVD研究会，日本大学津田沼キャンパス，2012年6月22-23日
■学外活動
◇所属学会
- IEEE，2010-
- 応用物理学会，1998-
◇その他の国際・国内貢献等
- 資源総合システム，38th IEEE Photovoltaic Specialists Conference （2012年6月19-24日、シアトル、米国）の会議報告を依頼され、薄膜シリコン太陽電池系の発表に関する報告書作成を行った。，2012/06/03 - 2012/06/08
- The 2nd China-Japan-Korea Young Researchers Workshop，日本側の代表メンバーに選出され、「新エネルギーの発展展望」分科会において講演を行った。，2012/04/28 -
- 薄膜太陽電池セミナー，組織委員，2010/11/18 -
■賞等
- 第22回（2007年春季）応用物理学会講演奨励賞，応用物理学会，2007