北陸先端科学技術大学院大学 [JAIST] - 研究者総覧
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堀田 將 (ホリタ ススム) 教授
融合科学系、マテリアルサイエンス系、応用物理学領域

4件中1-4件目

  • 1. オゾンガスとシリコーンオイルを用いた200度以下の低温シリコン酸化膜の形成
  • 2. ガラス基板上への低温多結晶シリコン薄膜の形成(パルスレーザを用いた溶融結晶化など)
  • 3. 強誘電体薄膜の形成あるいは強誘電体メモリの開発
  • 4. テンプレート法を用いた結晶化Si薄膜の低温成長