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研究

エクセレントコア (国際的研究拠点)・研究施設(センター)

シングルナノイノベーティブデバイス研究拠点

シングルナノ(10ナノメートル以下のサイズ)領域を探求する研究室が、分野の壁を超えてより有機的に連携する新しい大型研究拠点です。

(1)下田チーム(新機能材料、超微細加工)
(2)高村チーム(高機能バイオセンサーシステム技術)
(3)水田チーム(モノレイ ヤー・超低消費電力デバイス技術) 

この3つのチームが、それぞれの専門的知見を共有しながら、革新的な極小デバイスや極小センサー開発のための基盤技術を確立することを目指しています。最終的には、現在の半導体や表示体デバイスを低環境負荷で作製したり、健康障害を予防するため空気中の有害分子を検出する環境・医療センサーを開発したり、ガン細胞を分子レベルで分析して新たな治療法を見出したりと、社会に役立つ実用へとつなげることを目的としています。

具体的には、次のような活動を行っています。

  1. ナノインプリント法による機能性デバイスの直接形成
  2. GFIS(ガス電離イオンシステム)微細加工装置を用いたグラフェン、酸化物薄膜の超微細加工実験
  3. 電子線と窒素&ヘリウムイオンビームを併用した超微細デバイス・システム用ハイブリッドEB-FIB加工技術の基礎検討
  4. エクセレントコア・イノベーティブデバイス機能集積国際ワークショップの開催

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*エクセレントコア(国際的研究拠点)
特定の研究領域について国内外から第一線の研究者が集まる高い研究水準を誇り、最先端の研究設備及び研究環境を有する国際的研究拠点となる自ら研究活動を展開するための施設
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