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研究

エクセレントコア (国際的研究拠点)・研究施設(センター)

シングルナノイノベーティブデバイス研究拠点

 シングルナノ(10ナノメートル以下のサイズ)領域を探求する研究室が、分野の壁を超えてより有機的に連携する新しい大型研究拠点です。

 ①増田チーム(新機能材料、超微細加工)
 ②高村チーム(高機能バイオセンサーシステム技術)
 ③水田チーム(高機能環境・健康センサー・超低消費電力デバイス技術)

 この3つのチームが、それぞれの専門的知見を共有しながら、革新的な極小デバイスや極限センシング技術開発のための基盤技術を確立することを目指しています。最終的には、現在の半導体や表示体デバイスの低環境負荷作製、生活環境や生体からの極希薄ガスを単分子レベルで検出する高機能・低消費電力センサーの開発、新たな治療法開発のために癌や神経疾患の細胞を分子レベルで分析可能なデバイスの作成など、社会に役立つ実用へとつなげることを目的としています。

 具体的には、次のような研究活動を行っています。

  1. 液体Si、液体SiC、液体Ge、液体Alといった世界初の機能性材料の創出と研究
  2. 溶液法によるナノサイズデバイスの直接形成
  3. GFIS(ガス電離イオンシステム)微細加工装置を用いたグラフェン、シリコン、酸化物薄膜の超微細加工実験
  4. 電子線と窒素&ヘリウムイオンビームを併用した超微細デバイス・システム用ハイブリッドEB-FIB 加工技術の基礎検討
  5. グラフェンNEMS(ナノ電子機械システム)技術を基盤とする超高感度環境・健康センサーの開発
  6. シングルナノスケール・フォノンエンジニアリングによる革新的熱制御技術の開拓
  7. 組織表面や神経細胞ネットワーク中にある個々の細胞中のmRNAやタンパク質、代謝物を一分子レベルで解析可能とする高機能一細胞解析アレイの開発
  8. エクセレントコア・イノベーティブデバイス機能集積国際ワークショップの開催

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*エクセレントコア(国際的研究拠点)
エクセレントコアは特定の研究領域について国内外から第一線の研究者が集まる高い研究水準を誇り、最先端の研究設備及び研究環境を有する国際的研究拠点であり自ら研究活動を展開するための施設です。
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