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水田教授が文部科学大臣表彰 科学技術賞受賞

 本学の先端科学技術研究科の水田 博(みずた ひろし)教授が、平成30年度科学技術分野の文部科学大臣表彰科学技術賞を受賞することが決定し、文部科学省から10日に発表されました。

文部科学省の発表はこちら

 文部科学大臣表彰とは、科学技術に関する研究開発、理解増進等において顕著な成果を収めた者について、その功績を讃え贈られるものです。
 今回の受賞は、水田教授の下記の業績が評価されたことによります。
 なお、表彰式は4月17日(火)12時10分~(予定)に文部科学省 3階 講堂で開催されます。

科学技術賞 研究部門   
■受賞者 先端科学技術研究科 教授 水田 博
■業績名「ナノメータスケールにおける電子-機械複合機能素子の研究」

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業 績
 MOSFETの微細化で集積回路の集積度を上げていくムーアの法則が終焉を迎える中、集積回路にセンサ、アクチュエータなど異種デバイスを融合させて多機能化をはかる取組みが盛んになっている。特にMEMSと集積回路の融合技術は、IoT市場における鍵技術と期待されている。
 本研究では、電子デバイス内部にナノ・原子スケールの機械的可動構造を取り込んだ高機能ナノ電子機械システム(NEMS)複合デバイスを創生した。可動構造として極薄シリコン膜、および原子層材料グラフェンを採用し、従来のMEMS技術では不可能であったナノメータ領域へのダウンスケーリングに成功した。
 本研究により、スイッチ素子応用では、従来のMEMS技術より1桁以上小さい〜1Vレベルの低電圧・急峻スイッチ動作を達成した。センサ素子応用では、現在の技術では極めて困難であるppbレベル低濃度ガスに対する室温・高速単分子検出と、ゼプトグラム(10-21g)オーダーの室温・高感度質量検出を実現した。
 本成果は、集積システムの大幅な消費電力削減と、環境・健康モニタリング技術における検出感度の飛躍的向上、小型化、低コスト化に寄与することが期待される。

主要論文
「Low pull-in voltage graphene electromechanical switch fabricated with a polymer sacrificial spacer」
 Applied Physics Letters誌、vol. 105、033103 (4 pages)、2014年7月発表
「Room temperature detection of individual molecular physisorption using suspended bilayer graphene」
 Science Advances誌、vol. 2、e1501518 (7 pages)、2016年4月発表

平成30年4月11日

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