Rokouki.JPG

DLPプロジェクタを改造して作製した自作の露光機装置です。約1-2mmの解像度があります。これをもちいて大きいパターンを作製してみます。

「http://www.jaist.ac.jp/ms/labs/hiratsuka/index.php/%E3%83%95%E3%82%A1%E3%82%A4%E3%83%AB:Rokouki.JPG」より作成

 

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