Rotors-on-substrate.jpg
バクテリアで駆動する微小回転モーターの作成過程の図です。リソグラフィでは一度に大量に同じ物を作れることを特徴します。この場合大きさ5mm*5mmのシリコンチップの上に直径20マイクロメーターのローターが2万個できてます。図はその一部です。
バクテリアで駆動する微小回転モーターの作成過程の図です。リソグラフィでは一度に大量に同じ物を作れることを特徴します。この場合大きさ5mm*5mmのシリコンチップの上に直径20マイクロメーターのローターが2万個できてます。図はその一部です。