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研究設備
原子スケール微細加工・評価技術
最先端技術であるヘリウムイオン収束ビームを用いて、１ｎｍスケールの精度でグラフェン超微細デバイスを作製します。また、加工されたグラフェンナノ構造のエッジ構造や単一点欠陥を、原子解像度走査透過型電子顕微鏡（STEM）で直接観察します。
メタルコンタクトのSEM画像単相グラフェンのHIM画像
- EBLでメタルコンタクト部を作製
- SEM観察でグラフェンの位置を確認
- 高倍率で薄片の端にフォーカスを合わせる
- ビームを遮断し薄片をフィールド中心に合わせる
原子レベル観察技術の構築
- 分子吸着状態の観察
- GNRエッジでの分子吸着状態の観察
- 点欠陥による高い局所状態密度と分子吸着位置の相関の解明
〒923-1292 国立大学法人 北陸先端科学技術大学院大学 石川県能美市旭台1-1