M2の笠松君が発表奨励賞を受賞

博士前期課程の笠松健太君が平成27年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会において北陸・ 信越支部発表奨励賞を受賞しました。
■タイトル
表面プラズモン共鳴法による酸化物半導体薄膜トランジスタの大気安定性評価
■概要
表面プラズモン共鳴(SPR: Surface Plasmon Resonance)法を用いて酸化物半導体薄膜トランジスタ(TFT: Thin Film Transistor)の大気安定性を評価した。酸化物半導体膜のSPR共鳴角の変化とTFTの閾値電圧(Vth)変化には相関があり、パッシベーション膜を形成することで、SPR共鳴角の経時変化が抑制され、同時にTFTのVthシフトも低減されることが明らかになった。