岩坂君がEM-Nano2015においてポスター賞を受賞

博士前期課程の岩坂明さんが、EM-Nano2015においてポスター賞を受賞しました。
■タイトル
Solution-processed amorphous silicon carbide films made from solutions with various carbon contents
■内容
従来のアモルファスシリコンカーバイド(a-SiC)膜の作製プロセスは高価で大型な真空装置が必要であることや、有害なガスを発生させることが問題となっている。そのため本研究ではそれらの問題を根本的に解決出来る可能性のある溶液法を用いてa-SiC膜を作製しその膜特性を評価した。溶液法に用いるSiC前駆体溶液のシリコンと炭素の原料比を調節することで、得られたa-SiC膜のバンドギャップを制御することが可能であるということが明らかとなった．また炭素とシリコンがSiCを形成するモデルを提案した。