徳光研究室 徳光研究室 徳光研究室

半導体デバイス、電子材料に興味がある学生さんへ

 徳光研究室は、徳光が2025年3月で定年を迎えるため、2024年度からは新しい学生さんを受け入れることができません。半導体デバイス、電子材料などに興味があり、大学院進学を考えている学生さんは、どうか本学の他の半導体関係の研究室をご検討ください。現在当方で実施している研究内容の紹介でしたら、随時オンライン等で実施できます。興味のある方は徳光までメールで連絡をお願いします。
 当研究室では、薄膜やデバイスを自分で作製し、物性解析や電気測定を行って、機能性材料をデバイスに応用する研究をしています。最近ではHfO2系の強誘電体薄膜を溶液プロセスで作製しています。今までに、強誘電性を示す準安定の直方晶を形成するためには、結晶化時に酸素を供給「しない」方がよいことがわかってきました。酸化物薄膜を作製するのに、酸素を供給しないで焼成した方がよいのも不思議な感じがしますが、このような自然の不思議とそれを理解し、デバイス応用していくことにこの分野の面白さを感じます。現在、半導体材料やデバイス、作製プロセスの技術者や研究者が求められています。是非将来を担う研究者、技術者になって活躍していただきたいと願っています。

For those who are interested in our research, please contact Tokumitsu by e-mail. We will explain our recent research activities.
 

研究室説明

テーマ:機能性材料を用いた電子デバイスの高機能化・高性能化、および新デバイスの創成

デバイス:薄膜トランジスタ (TFT) ・強誘電体を用いた不揮発メモリ&ロジック素子 (強誘電体ゲートトランジスタ)
 材料 :酸化物半導体 ・強誘電体・高誘電率 (high-k) 材料 など
プロセス:溶液プロセス・ナノインプリント・真空成膜プロセス

本研究室は 2014 年に東京工業大学から異動してきました。「機能性材料を用いた電子デバイスの高機能化・高性能化、および新デバイスの創成」をテーマに、薄膜トランジスタや不揮発性メモリ素子などの研究を行っています。本研究室では、材料の物理的性質の理解・人工的物性制御といった材料研究から、トランジスタや電子回路を試作・測定して動作検証するデバイス研究、さらには省エネルギー・低環境負荷な溶液プロセスによる作製プロセスの研究も行っています。詳細はこちら

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佐々木論文
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JJAP2021-3
徳光研メンバー2021-2