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2017.4.30
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〒923-1292
石川県能美市旭台1-1
TEL 0761-51-1561
TEL 0761-51-1149

代表:堀田 將
horita@jaist.ac.jp

 



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2017年度(平成29年度)新入生の皆様へ!

堀田研究室の研究タイムスケジュール表を以下に示しました。
研究タイムスケジュール

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           研究まとめの1枚

              研究のアウトライン
     本学支援財団による広報誌「ADVANCED」での本研究の記事
                (Vol.31 2017 March)

             
最終目標  
 
セルロースナノペーパー上へのSi薄膜トランジスタ(TFT)の低温作製

それを実現するために
1)レーザーによるYSZテンプレートを用いた低温多結晶シリコン薄膜の形成(レーザーアニール)
 
ガラスやプラスチック基板上に堆積した非晶質(アモルファス)Si薄膜にパルスレーザーを照射するだけで、室温付近の低温で多結晶Si薄膜お形成に取り組んでいます。結晶粒の方位や大きさを均一に整えるために、Siと格子定数の近いYSZという材料の多結晶層を基板とSi薄膜の間にテンプレートとして入れ、高品質多結晶Si薄膜の形成に取り組んでいます。さらに、薄膜トランジスタ(TFT)を作製し、デバイスとしての性能も検討しています。
2) シリコーンオイルとオゾンガスによるシリコン酸化膜(SiO2)の低温形成
 
オゾンを含む酸素ガスを用いると、低温でSiO2膜が高速形成できるという独自のSiO2膜形成法を研究しています。現在、良好な電気的特性を持つSiO2膜が低温・高速形成できる条件を探っています。

 

Thi Kieu Lien MAIさんが電気科学技術奨励学生賞を受賞 
 
 本賞は、
財団法人電気科学技術奨励会(旧財団法人オーム技術奨励会)が、電気科学技術関係の主要な学会(当面、電気系5学会:電気学会、電子情報通信学会、情報処理学会、映像情報メディア学会、照明学会)が主催する国内での国際会議において論文発表した大学院・学部の学生を対象に、毎年10人程度を上限に賞状と副賞を贈呈するものです。彼女の場合は、先のIDW13での発表が対象になりました。

写真は、映像情報メディア学会事務局(東京)で行われた、上記奨励会専務理事からの表彰状贈呈式のワンショットです。



Thi Kieu Lien MAIさんが国際学会IDW( International Display Workshop) '13 Outstanding Poster Paper Awardを受賞。
 

 本会議は、
20131246日に札幌で行われ、全講演数504件、参加者1000人以上(約5割が海外)規模で、16の発表分野があるディスプレイに関する総合国際会議です。受賞分野はFPD(Flat Panel Display) Manufacturing, Materials and Components (FMC)、発表タイトルは”Improving Crystalline Quality of Si Thin Films Solid-Phase Crystallized on Yttria-Stablized Zirconia Layers by Pulse Laser” です。

 IDW'13 におけるポスター発表の様子

● 2013年3月27(水)〜30日(土) 
  春季応用物理学会に参加し、研究成果の発表 神奈川工科大学(神奈川県厚木市)
   M2 辻埜太一 君 「シリコーンオイル酸化Si薄膜膜質へのアニールガスの加湿効果」
   M2 望月一秀 君 「結晶化誘発層上に堆積した非晶質Si 薄膜のパルスレーザー照射                 による固相結晶化」      
● 2012年11月5(月),6日(火) 
   2012 IEEE International Conference on Electronics Design, Systems and  
   ApplicationsにてKey Noteとして堀田 発表
  "Low-Temperature Fabrication of Crystallized Si Films for Display and Solar Cell Applications"
● 2012年11月2(金)、3日(土) 
  薄膜材料デバイス研究会研究集会に参加し、研究成果の発表 
   なら100年会館(奈良県奈良市)
   M2 望月一秀 君 
   「高イットリウム濃度結晶化誘発層及びSi種結晶層上非晶質Si薄膜の低温固相結晶化」
● 2012年9月11(火)〜14日(金) 
   秋季応用物理学会に参加し、研究成果の発表、 愛媛大学(愛媛県松山市)
   M2 Mai Lien Thi Kieui さん"Improvement of solid phase crystallization of an Si film on a YSZ gate insulator with a bottom gate electrode" 


 イベント情報


第4回 堀田研究室OB会開催 (2012年11月16日、片山津温泉 古賀乃井
 堀田研究室OB会(全修了生50人)は第1期生阿部、川田氏(1996年3月修了)の音頭により4年に1度のオリンピックイヤーに開催されるもので、今回で4回目となります。今回は、石橋氏(2004年3月修了)が幹事となり開催されました。日々の忙しさに加え、不況の嵐にもかかわらず、3家族を含む19人の修了生などが集まり、総勢30名の参加がありました。午後7時からの宴会に始まり、午前4時までの尽きない談笑で旧交を温め合いました。次回の幹事を決め、4年後の再会を期し、解散しました。
 左: 2011年夏の研究室合宿の集合写真(松任青少年宿泊研修センター(白山市)にて)
 右: 2011年秋の応用物理学会(山形市)終了後のひととき(米沢市、上杉神社前にて)
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2005