電子プローブマイクロアナライザー・EPMA
（日本電子 JXA-8900L）
電子プローブマイクロアナライザ（EPMA）は、試料に電子線を照射して含有元素の定性・定量分析を行う装置であり、ナノマテリアルテクノロジーセンターで集中管理されています。
【特徴】
EPMAは収束させた電子線を試料表面に照射して、試料から放出されるX線の波長あるいはエネルギーの違いにより、試料中の元素組成を分析する装置である。元素組成が既知試料のX線強度と未知試料とX線強度との比較により元素の定量分析が行える。また試料表面上において電子線を走査することにより、試料表面の元素２次元分布が測定可能である。
【仕様】
| 電子線源 | タングステン・フィラメント |
|---|---|
| 加速電圧 | 5 - 40kV（常用 7 - 20kV） |
| 二次電子像分解能 | 6nm (AccV=35kV, WD=11mm） |
| 倍率 | 40 - 300,000倍（SE像・BE像の実用倍率10,000倍程度） |
| 測定可能元素 | B～U |
| 波長分散型分光器 | ５チャンネル |
| 分光器の分光結晶構成と 特性X線構成 |
Ch1 - TAP - K線:O-P, L線:Cr-Nb, M線:La-Hg, LDE2 - K線:B-O, L線:Ca-Cr, Ch2 - PETJ - K線:Si-Fe, L線:Rb-Tb, M線:Lu-U, LIF - K線:Ca-Rb, L線:Sn-Np, Ch3 - LIFH - K線:Ca-Ge, L線:Te-Hg, PETH - K線:Si-Ti, L線:Pb-La, M線:Ta-U, Ch4 - LDE1H - K線:C-O, L線:Ca-Mn, LDE2H - K線:B-N, L線:Ca Ch5 - TAP - K線:O-P, L線:Cr-Nb, M線:La-Hg, NSTE - K線:B-O, L線:Ca-Cr, |
【設置場所】
ナノマテリアルテクノロジーセンター２階