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ナノテクノロジープラットフォーム公開講座「集束イオンビーム（FIB）技術の基礎と微細加工実習」【定員に達したため、受付を終了いたしました。】
本学ナノマテリアルテクノロジーセンター主催で集束イオンビーム(FIB)の技術の基礎を学び、微細加工実習を行うことのできる公開講座を開催いたします。
ただいま受講者を募集しております。皆様のご参加をお待ちしております。
| 日 時 | 令和2年2月21日（金）10：00～17：00 |
| 場 所 | 北陸先端科学技術大学院大学 ナノマテリアルテクノロジーセンター JAISTイノベーションプラザ |
| テーマ | 集束イオンビーム（FIB）技術の基礎と微細加工実習 |
| 講 師 | 赤堀 誠志：ナノマテリアルテクノロジーセンター 准教授 （応用物理学領域） 東嶺 孝一：ナノマテリアルテクノロジーセンター センター長補佐・技術専門員 宇野 宗則：ナノマテリアルテクノロジーセンター 技術専門職員 伊藤 真弓：産学官連携推進センター 技術支援部門 研究員 |
| 内 容 | Gaに代表される液体金属イオン源を用いた集束イオンビーム(FIB)技術は，透過型電子顕微鏡用試料の作製や半導体製造用フォトマスクの修正など、様々な微細加工に広く利用されており、近年はさらなる微細化に向けて、電界電離ガスイオン源(GFIS)を用いたFIB技術も進展しています。本講座では、FIB技術の概要を掴めるよう、FIB技術の基礎を解説するとともに、実際にGa-FIB装置やGFIS-FIB装置を操作し、微細加工実習を行います。 |
| 定 員 | 5名程度（先着順） |
| 参加対象者 | 企業・他大学・高専等の研究者・技術者 |
| 受講料 | 6,200 円（税込） |
| 申込方法 | 受講希望の方は、 ①氏名（ふりがな） ②勤務先等・職名 ③受講の目的 ④本講座に期待すること ⑤書類送付先 ⑥電話番号 ⑦メールアドレス を明記の上、E-mail （宛先 nano-net@jaist.ac.jp）またはFAX（ポスター2ページ目参照）でお申し込みください。 |
| 申込締切 | |
| 問合わせ先 ・申込み先 |
北陸先端科学技術大学院大学 ナノマテリアルテクノロジーセンター事務局 〒923-1292 石川県能美市旭台1-1 TEL：0761-51-1449 FAX：0761-51-1455 E-mail：nano-net@jaist.ac.jp |
ポスターはこちらからご覧ください。ダウンロードできます。
